一、询价采购编号：X2026066
二、项目预算：19.7万元人民币
三、询价人：苏州大学采购与招投标管理中心
地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼904室
邮编：215021 传真：0512-67165076
联系人：罗老师 电话：0512-67504198，67504359
电子邮箱：lrb998@suda.edu.cn
技术联系人：孙老师 电话：18200258872
四、货物名称、数量及主要技术指标等要求
半导体热蒸镀仪 1套
（一）底盘结构
1. 采用焊接式框架，外观要求白色喷漆处理，底部带有轮子可推动，并带有可调节高度的支脚。
2. 机架带有机械旋转手臂，有多角度调节操作界面，电气控制集成到底盘上，与真空腔体一体式。
（二）基片架结构
1. 采用嵌入式结构，可以固定大于等于150mmx150mm的基片托，向下兼容，控温范围覆盖零下5度至150℃。
2. 电机驱动实现连续旋转，最大转速可达30转/分钟，通过磁流体与基片托盘连接。
3. 配有二个挡板，气缸驱动，二个挡板组合使用，可实现基片托全遮挡。
（三）蒸发源
1. 3组束源，10cc，带水冷，可蒸发800℃及以下温度的材料，源与基片的垂直距离≥350mm。
2. 1台束源蒸发电源，功率≥0.8KW，精度0.1A，用于束源蒸发材料。
3. 6组舟源，热阻式，可蒸发常见有机、金属、金属氧化物以及其它材料，源与基片的垂直距离≥350mm。
4. 1台舟源蒸发电源，每台功率≥1.4KW，精度0.1A，用于舟源蒸发材料。
5. 每组蒸发源的上方同时配有防护板来防止蒸发源的交叉污染，防护板通过气缸驱动，打开方式：左右旋转。
6. 源与源之间装有隔板，并避免源与源之间材料相互污染。
7. 可通过束源和舟源配合实现双源共蒸发，预留电源加装接口。
（四）自动化控制软件
带有一键自动蒸镀功能，即软件设置好所有材料的相关参数，即可完成抽真空，电源升降功率，电机旋转，材料切换，开关挡板等所有动作。
（五）膜厚控制系统
1. 3个标准晶振传感器，均为水冷式，安放于蒸发源附近。
2. 采用1台5通道膜厚仪，速率精度0.001Å/s，厚度精度0.01 Å,可同时显示4个膜厚探头的读数；单片内膜厚匀性≤5%。
（六）真空室
1. 真空室由不锈钢制成，内部尺寸至少为500mm*500mm*610mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及蒸发电极、真空泵、样品盘等装置。
2. 真空腔体配备两个可以完全打开的门，前门为移门，通过与直线导轨，滑块等装置连接，可使前门左右开启与关闭，预留手套箱连接接口，在手套箱内部操作前门开关；后门旋转门，通过旋转轴实现后门的开关，开启后腔体内部完全暴露在空气中，主要的目的为维护检修，并配一个长方形观察窗，配合腔体外部照明灯，方便观察腔体内部状况。
3. 腔体极限真空优于3.5*10-5pa，从常压到5*10-4pa不超过15min（充氮气保护）
4. 带有旁抽系统，可以在不关闭分子泵的条件下，打开腔室,进行样品及材料的更换。
5. 腔体内表面预留安装防污内衬接口，并配备1套可互相替换的防污内衬板。
（七）真空系统
1. 前级泵的抽速不低于30m3/h。
2. 主泵采用抽速≥1300l/s的防腐分子泵。
3. 自动抽气控制，带安全互锁功能。
4. 真空室配真空计，测量范围为大气至10-5pa。
（八）质保期不少于3年。
五、询价采购文件价格：人民币300元（相关缴纳事宜详见附件），售后不退。
六、报价截止时间：2026年11月18日14：00。
七、有兴趣并符合资格条件的供应商，请务必认真阅读《苏州大学网上询价采购仪器设备报价须知》在接受其所有条款要求的基础上按要求进行报价。
八、报价文件递交：顺丰快递邮寄，请充分考虑快递送达时间，避免错过时间。
——————————————
询价采购编号：X2026066
成交供应商：