一、项目名称：EB-PVD设备
二、项目编号：S2025053
三、采购人：苏州大学采购与招投标管理中心
地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼1017室
邮编：215021
联系人：陈老师 电话：0512-67167481
电子邮箱：xnchen@suda.edu.cn
技术联系人：张老师 电话：15864215455
电子邮箱：lengliuxingzi@163.com
四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求
EB-PVD设备1台
（一）主要技术参数及配置要求
1. 设备技术要求：设备所有零部件和各种仪表的计量单位应全部采用国际单位（SI）标准。
2.工艺要求
2.1工艺气体主要包括O2及Ar，工艺气体纯度不低于5N。
2.2蒸发沉积速率：3μm/min-5μm/min。
3.配置2套电子枪系统
3.1电子枪形式：三级间热式电子枪双级真空。
3.2每把电子枪额定功率：≥100KW。
3.3电子束光斑直径：≥5mm。
3.4聚焦方式：两级聚焦同时具有聚焦保护。
3.5电子束偏转角度：≥±15°。
3.6扫描图形种类：≥6种。
3.7电子枪扫描系统具备分束扫描功能。
3.8灯丝及阴极寿命：≥50h。
3.9电子枪冷态极限真空度：≤8.0×10-4Pa。
3.10电子枪抽真空时间（工作真空）：30分钟内达到5.0×10-3Pa（不含分子泵的启动时间）。
3.11电子枪采用双层水冷结构。
3.12电子枪扫描系统具备倾斜角修正、旋转角修正、束斑向心加速等功能。
3.13电子枪接地电阻：≤1Ω。
3.14电子枪重量：≤150KG（不含分子泵）。
3.15电子枪尺寸：≤260mm×260mm×800mm（长×宽×高）。
4.电子枪电源
4.1电源：380V±10%；50Hz±1Hz；三相交流电。
4.2电压稳定度：≤1%。
4.3打火响应时间：≤5μs。
4.4加速电压：0~30KV可调。
5.沉积真空室
5.1用于蒸发靶材沉积涂层的高真空腔室。包括水冷铜坩埚、光栅阀、闪频观察窗、电子枪法兰接口、真空系统、阀口挡板、靶材升降装置等。
5.2沉积真空室采用不锈钢304材质、双层水冷结构。
5.3水冷坩埚数量：3个，坩埚材质：紫铜。
5.4沉积真空室真空获得系统由旋片泵、罗茨泵、扩散泵、真空管道、真空计、阀体等组成。
5.5沉积真空室冷态极限真空度：≤5.0×10-4Pa。
5.6抽真空时间（工作真空）：40分钟内达到5.0×10-3Pa（不含扩散泵的升温时间）。
5.7压升率（12h）：≤1.33Pa/h。
5.8靶材升降装置通过伺服电机控制升降及旋转。
5.9光栅阀通过伺服电机控制开合。
5.10闪频观察窗由内层石英玻璃、中间层铅玻璃、外层黑玻璃组成。
6.配置2套原位辐射加热室
6.1原位辐射加热元件由石墨加热带产生辐射热量。
6.2原位辐射加热温度范围：0~1100℃。
6.3炉温均匀性测试，校温点为1000℃、1050℃、1100℃。
6.4上下两区加热，每个区功率≥20KW，总功率≥40KW。
6.5原位辐射加热室真空获得系统由旋片泵、罗茨泵、扩散泵、真空管道、真空计、阀体等组成。
6.6原位辐射加热室采用不锈钢304材质、双层水冷结构。
6.7原位辐射加热室设有传动轴滑动及转动支撑装置。
6.8压升率（12h）：≤1.33Pa/h。
7.配置2套装载室
7.1整体采用不锈钢304材质、内置水道水冷结构。
7.2装载室设有传动轴滑动及转动支撑装置。
7.3真空获得系统由旋片泵、罗茨泵、真空管道、真空计、阀体等组成。
7.4设有固定观察窗1个，观察窗由内层石英玻璃、外层铅玻璃组成。
7.5装载室上盖设为法兰密封结构，便于维修及检查传动系统。
8.配置2套传动轴及转架系统
8.1转架为叉子型结构，转架需实现横移+自转+摆动功能。横移速度：0-3m/min；自转速度：0~30r/min；摆动角度：±45°
8.2横移+自转+摆动均采用伺服电机配备减速器控制。
8.3转架工位数量：≥10件。
8.4转架配备K型热电偶；热电偶数量：≥8支。
8.5转架材质为高温合金材质，转架使用温度：0~1000℃。
8.6传动轴为双层水冷结构。
9.气体质量流量控制系统
9.1O2质量流量控制器量程：1000sccm。
9.2Ar质量流量控制器量程：200L/min。
9.3工艺气体管路，采用电子级电抛光管材（316L-EP）材质。采用自动轨道焊接。
10.冷却水系统
10.1冷却水系统由两部分组成，一部分为主体结构冷却，一部分为电子枪冷却。
10.2主体结构冷却采用螺杆式冷水机组，主体结构分水器应充分考虑每一组供水的可靠性，主要管路设置超温和缺水报警，每一分路上加装轮式水流开关，主体结构分水器与真空室连接采用软管连接，软管采用高压防爆管，真空室内部软管采用高压波纹管连接，冷却水主管道安装压力表。
10.3电子枪冷却采用工业级冷水机，独立一组分水器，主要管路设置超温和缺水报警，主管路安装压力表，并且水温水流有数显。
11.压缩空气
11.1压缩空气压力：0.4MPa~0.6MPa。
11.2作为各类气动阀门的来源，主要由阀岛、气动三联件、阀门、管路构成，压力不足时能给出报警信号。
12.工作台架
工作机台组成：其一为真空腔室（沉积室、原位辐射加热室及装载室）机台，方管焊接件；其二为真空机组工作台架；其三为工作平台，高度适合操作为宜。
13.电气控制系统
13.1供电：380V±10%；50Hz±1Hz；三相交流电。设备端配备电气柜、总动力柜为设备整体提供供电需求及控制。
13.2采用知名品牌的PLC及配套的电器元件。
13.3配置19寸彩色显示器，1个键盘和鼠标、1个打印机、1个悬臂支撑架、1台UPS电源等组成。工控机CPU核心数量：≥8，内存容量：≥64G，固态硬盘容量：≥1TB。工控机和PLC上相关软件均为长期永久授权，不得加密。
13.4配置不低于Windows10操作系统，以及国产工艺控制软件，可实现对设备各个部件、流量、开关、阀及传感器数字信号的采集与编辑，设备运行状态的监控、调节，以及安全逻辑互锁。
13.5采用模块化设计，操作界面简洁实用，能够精准显示各个阀门、传感器等组件的运行状态，以及逻辑互锁的条件，并具备各类信息的自诊断及报警功能。
14.辅助配套装置
14.1卧式热处理炉
型式：单室、卧式、水平前装料、冷却气内循环方式；最高温度：1350℃；温度均匀性：±5℃；控温精度：≤±1℃；抽真空时间（工作真空）：45分钟内达到5.0×10-3Pa（不含扩散泵的升温时间）；冷态极限真空度：≤8.0×10-4Pa。
14.2电镀Pt台
外形尺寸：1500mm×1100mm×1900mm（长×宽×高）；Pt槽容积270mm×400mm×440mm（长×宽×高）。
14.3超声波清洗机
电压：AC220V±10%，50HZ；功率：0-100%数控调节。
14.4干吹砂机
外形尺寸：1200mm×1900mm×1990mm（长×宽×高）；工作舱尺寸： 995mm×995mm×860mm （长×宽×高）；电源： 380V、50HZ；机器照明灯： 220V，50W-LED灯；压缩空气源：压力5-7kg/cm2；流量0.8-1.2m3/min干燥压缩空气；除尘方式：配置滤芯除尘箱；除尘风机：1500W/380V；机器承载量：200㎏。
14.5湿吹砂机
整机外形尺寸：900mm×1150mm×1850mm（长×宽×高）；砂箱尺寸：900mm×900mm×750mm（长×宽×高）；电源：380V/50HZ；压缩空气源；压力5~7kg/cm2流量1~2m3/min；砂泵功率：1500W；砂管规格：40mm×25mm（直径×长）；喷嘴规格：9.5mm（直径）；转盘规格：600mm（直径）；机器承重：100kg；排雾风扇：2PCS；照明灯：1PCS*50W；机舱材质：不锈钢304；雨刷器：气动。
14.6烘箱
工作温度范围：10℃~300℃，内部尺寸1200mm×800mm×1000mm（长×宽×高）。
14.7纯水机
制水量0.5吨/h；电导率不高于0.3μS/cm。
14.8线切割设备
用于产品检测金相切割，最大加工范围350mm×450mm（长×宽）。
14.9空气压缩机站
外形尺寸1800mm×1200mm×1670mm（长×宽×高）；容积容量10m3/min，排气压力0.8MPa；电机功率55kW，重量1150kg，储气罐2立方米。
14.10污水处理系统
碱性废液箱1m3，PE材质，1024mm×1530mm（长×宽）；水幕废水箱1m3，白色；综合清洗废水箱10m3，白色；设备主体处理量0.5m3/h。
14.11液氩气站
液氩储罐容积1000L，工作压力2.5MPa，内外容器材料S30408；氩气设计压力2.5MPa，气化量200N·m3/h。
14.12循环氧化炉
炉膛：高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛；恒温区尺寸：80mm×300mm（直径×高）；加热元件：硅碳棒加热；炉管材质：陶瓷刚玉管；控温方式：温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，30段升降温程序；恒温精度：±1℃；升温速度：5~10℃/min；额定功率：12KW；工作电源：AC/380V 50HZ/60Hz；升降系统控制：滚珠丝杆升降机1套。
14.13恒温氧化炉
炉膛尺寸300mm×200mm×200mm（长×宽×高）；最高温度1200℃，使用温度0~1100℃；控温精度：±1 ℃；发热元件采用高温硅碳棒加热；测温元件K型热电偶。
14.14工件防护台
尺寸：2000mm×800mm（长×宽）。
14.15工件转运车
尺寸：880mm×580mm×950mm（长×宽×高）。
（二）质保期：自验收合格之日起1年。
（三）交货期：合同生效后，10个月内交货。
（四）报价要求：本次招标采用一次性报价。报价包含设备、配套辅机、配套软件、易损件、配套环保设备、设备地基施工、运输、安装、调试、培训、税费、保险等与本项目相关的全部费用，确保设备安装后可以满足安全、环保及生产运行要求。
（五）履约保证金：中标单位须在签订合同15天内缴纳合同金额的5%作为履约保证金，验收合格后稳定运行一年且产品无质量问题，无息退还。
（六）安装调试要求
现场安装：现场完成设备就位、水电气管路连接、外围系统集成等。
系统调试：进行全面的硬件、软件、真空系统、气路系统、温控系统、安全联锁等的功能测试和参数校准。
（七）付款方式
1.合同签订后，支付合同总额30%的预付款；
2.设备制造完成在供方厂区内验收合格后，支付合同总额30%的预验收款，供方发货至需方指定地点；
3.设备在需方指定地点安装调试并通过验收后，支付合同总额30%的终验收款；
4.验收合格后稳定运行一年且产品无质量问题，支付合同总额10%的尾款。
5.每次付款前，中标单位均须提供对应的等额增值税专用发票。
（八）验收要求：按照招标公告要求、投标文件、采购合同约定的技术条款等指标进行验收。
（九）售后服务要求
现场服务：产生故障，需在2小时内响应，48小时内派遣工程师到达现场进行维修或更换故障部件。
备件供应：质保期内应免费更换因质量问题损坏的零部件。
五、投标单位资质要求
（一）具有独立承担民事责任的能力；
（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
（六）本项目不接受联合体投标，不得转包或分包。
六、评分标准
本次招标采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：
（一）针对中小企业、残疾人福利企业和监狱企业的评审（加分）
根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46号）、《江苏省财政厅关于进一步加大政府采购支持中小企业力度的通知》（苏财购〔2022〕45号）、《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）和《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库〔2014〕68号）的有关规定，对于符合上述文件规定情形的小微企业、残疾人福利性单位及监狱企业报价给予10%的扣除，用扣除后的价格参与评审，如扣除后的价格为最低价的，则作为评标基准价，中标金额则以实际投标报价为准。残疾人福利性单位属于小型、微型企业的，不重复享受政策。
小微企业提供《中小企业声明函》；监狱企业提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件；残疾人福利性单位提供《残疾人福利性单位声明函》。
注：
①填报“中小企业声明函”需严格按“工信部联企业〔2011〕300号通知中的《中小企业划型标准规定》进行。
②若供应商提供的声明函或认定证明为虚假材料，将按政府采购法相关规定处理并报请政府监管部门给予行政处罚。
根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46 号）及《中小企业划型标准规定》（工信部联企业〔2011〕300 号），本采购标的对应的中小企业划分标准所属行业为：工业。
（二）价格分（35分）
1．评标基准价：满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，评标基准价为满分35分；
2．其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算：投标报价得分＝（评标基准价／投标报价）×35分。
（三）技术参数、配置及整体综合性能分（40分）
1．技术参数及配置（30分）
以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的技术支持资料（测试报告或产品说明书）等作为评标依据，其他情况由评标委员会根据实际情况进行评判。
（1）所提供产品多项不满足招标公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经评标委员会评审可作为无效响应文件。
（2）所提供产品不满足招标公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣2分。
2．综合性能情况（10分）
（1）所提供产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况（评标委员会认为超出指标有意义的）（3分）。其中优于项，每处加1分。
（2）所提供产品的市场反馈情况（7分）。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用投标产品发表的学术论文情况等综合评定。
（四）综合商务（25分）
1．综合实力（2分）
根据投标人提供的能体现其综合实力的证明材料进行评定。
2．类似项目业绩（10分）。投标人提供2022年以来同类型设备销售业绩，每提供1项销售业绩得2分，满分10分。
注：提供合同页及盖章页。（其中合同复印件应至少体现出项目名称、甲乙双方公司名称及盖章、合同签订或生效时间等，未按上述要求提供的业绩证明均不予以认可）。
3．售后服务与培训情况等（10分）
（1）质保期（3分）。符合招标文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。
（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。
根据投标文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。
4．其它优惠措施等（3分）
根据供应商提供的在招标文件要求范围以外，评标委员会认可的优惠措施综合评定。
七、投标文件的组成
投标文件一般由下列材料组成（部分格式详见附件1、2，所有材料须加盖投标单位公章并按序装订成册）：
（一）投标文件一
1.投标函。
2.投标报价表。
3.详细配置及分项报价清单。
（二）投标文件二（文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价，否则作废标处理）
1.目录（投标资料与页码对照表，原件）。
2.投标基本情况一览表。
3.详细配置清单、技术规格偏离表和投标产品技术支持资料。
4.综合性能情况。
5.综合实力。
6.类似项目业绩。
7.质保期。
8.技术方案、服务承诺、培训承诺。
9.其他优惠措施。
10.投标单位认为应该提供的相关材料。
11.资格证明文件
（1）营业执照（复印件）。
（2）法定代表人授权书（原件）。
（3）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等，复印件）。
（4）法人授权代表身份证明材料（如身份证、护照等，复印件）及投标单位为其缴纳的社保证明（复印件）。
（5）具备履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料（复印件）或承诺函（原件）。
（6）依法缴纳税收和社会保障资金的相关资料（复印件）。
（7）最近一年度审计报告或财务报表(复印件）。
（8）近三年内在经营活动中无重大违法记录承诺函（原件）。
（9）《中小企业声明函》或《残疾人福利性单位声明函》或由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件（如有）。
特别说明：
1.“投标文件一”和“投标文件二”应分别装订和密封，并加盖投标单位公章
2.“投标文件一”，正本一份，副本一份；“投标文件二”，正本一份，副本五份。如副本与正本有出入，以正本为准。
3.相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行
八、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。
九、各投标单位在投标前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2025年11月14日12：00前将报名函（格式见附件4）发送邮件至采购人处（xnchen@suda.edu.cn）。
十、递交投标文件相关事宜：
（一）顺丰快递邮寄方式（建议优先采用）
1. 寄达时间：2025年11月21日14：00前；
2. 收件人信息：
收件人：陈老师
联系方式：17712489956
收件地址：江苏省苏州市东环路50号苏大东校区凌云楼1017室（采购与招投标管理中心）
（二）现场递交方式
1. 递交时间：2025年11月21日13:30～14：00
2. 递交地点：江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东门
十一、投标截止时间：2025年11月21日14：00。
十二、开标时间：2025年11月21日14：00。
