一、项目名称：CVD设备
二、项目编号：S2025054
三、采购人：苏州大学采购与招投标管理中心
地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼1017室
邮编：215021
联系人：陈老师 电话：0512-67167481
电子邮箱：xnchen@suda.edu.cn
技术联系人：张老师 电话：15864215455
电子邮箱：lengliuxingzi@163.com
四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求
CVD设备1台
（一）主要技术参数及配置要求
1.设备技术要求：设备所有零部件和各种仪表的计量单位应全部采用国际单位（SI）标准。
2.工艺要求：工艺气体主要包括HCl、H2及Ar等，应具备防腐蚀及防爆功能。
3.内置高温反应器
3.1有效工作区尺寸：≥450mm×1000mm（直径×高）。
3.2工作温度范围：900℃～1050℃。
3.3在1050℃工作温度范围能连续工作。
3.4最高温度：1100℃。
3.5温度均匀性：±5℃。
3.6炉温均匀性测试，校温点为900℃、1000℃、1050℃。
3.7泄漏率：≤0.5mbar/h。
3.8泄漏率检测包括高温反应器、三氯化铝发生器、混合室及汇流排。
3.9极限真空度：≤1mbar（0.25h内）。
3.10最大装载量：≥100kg。
3.11沉积速率：沉积速率：≥10μm/h，内流道涂层厚度偏差≤15μm、外表面涂层厚度偏差≤10μm。
4.高温反应器
4.1用于生成高温高活性次氯化铝反应物质的密闭容器，在工件表面生成沉积涂层。包括抗高温变形的罐体、带冷却水套的下法兰、热电偶、SAT及TUS接口、真空系统、密封槽、安全锁紧装置等。
4.2 配置2套，采用lnconel800材质、厚度不小于8mm钢板卷制焊接罐体。
4.3基于PLC及温控模块可实现高温反应器内部5区控温，每个独立控温区应有控温和超温报警热电偶，并设有TUS和SAT热电偶接口。整个热处理控制系统应高度集成。
4.4 设备可增加单独真空泵用于工件内流道涂层沉积。
4.5内置高温反应器在工艺温度时压力在50mbar～105mbar范围内可调，可高效率低成本同时在内外流道沉积涂层。
5.外置低温反应器：用于制备低活性三氯化铝气体和其他不少于3种活性元素。由工艺气体管线（包括HCl、H2和Ar气体）、分区控温的加热模块、气体发生器等组成。
6.石墨坩埚及组合件：石墨坩埚、隔圈及支撑件等承力部件采用高密度石墨制成；其余石墨组件（隔热）采用轻质、低密度石墨制成。
7.钟罩式加热炉
7.1用于对高温反应器的加热。
7.2加热速率：从室温到1000℃≤3h。
7.3控温系统：采用知名品牌工艺控制软件相配套的控温系统，5区独立控温，每区设置独立控温模块、测温及报警热电偶的快速连接装置。
7.4电阻丝：模块化的知名品牌电阻丝。耐火材料：模块化氧化铝砖，密度≤250kg/m3。总重量：≤3.8吨。炉体表面温度：工作状态下，炉体外表面温度≤70℃。
7.5变压器：输出电压380V±5V。
7.6具有防变形，抗热疲劳和热老化性能，结构便于更换。
8.冷却塔：由移动式冷却罩、风冷系统构成，具备抗高温变形和防烫伤功能的双层壁设计，可实现高温反应器外壁的强制风冷。
9.抽真空系统：包括真空泵及管道系统，对低温反应器、高温反应器、冷阱、各类气体汇流排、混合室及相关管线抽真空。与工艺控制软件相匹配，实现逻辑互锁。
10.气体流量控制和在线校验系统
10.1基于模拟量的MFC，能精确控制H2、HCl及Ar等气体流量，气体流量、大小可数显，精确可控。
10.2设置手动阀及开关，实现紧急状况下的手动操作。
11.冷却循环水系统：由冷水机、汇流排、传感器及管道组成。可监测循环水水温并报警。
12.尾气处理系统：具备对易燃易爆、有毒及强腐蚀性尾气的无害化处理装置及功能，符合国家环保排放要求，产生的废水收集后集中处理。
13.地面行吊系统
13.1用于CVD设备工艺过程中主要可移动部件的定点吊装及移动，具备自动循迹及定位功能。
13.2整体承力框架：采用高强度合金热轧或锻造，具备抗弯曲、防变形功能。起升重量：≥1T。起升高度：≥2.8m（与设备吊装高度相匹配）。起升速度：≥3.3m/min。吊装和移动：水平运行距离≥7.4m（具体以CVD设备的实际尺寸为依据）。数量：1套，与设备结构相匹配，具备多工位拓展条件，并满足采购人使用需求。
13.3定位循迹：采用PLC及伺服电机，高精度齿轮齿条或丝杠传动系统，具备自动定位（四工位）及循迹功能，完成对CVD设备部件的自动定位、吊装和移动。重复定位精度：±0.5mm。
13.4地面行吊控制系统：预埋各类限位开关、传感器，具备变速升降、移动、紧急停止及物理限位功能。
14.气体供给及安全监控系统
14.1由气体管线、各类阀、防泄漏探头及气瓶柜等组成，对各类气体的压力、流量及泄漏具有全自动监控、显示、超压保护及安全逻辑互锁功能。具备安全互锁功能，并与工艺管理系统逻辑互锁。
14.2配置氯化氢（HCl）气瓶柜，可实现一键式保压、吹扫。
14.3配置氢气防爆间，按照《氢气使用安全技术规程》进行执行（GB4962-2008）。
14.4气体管线设计制造具备GC2认证。
14.5设置手动阀及开关，实现紧急状况下的手动操作。
15.工艺管理系统
15.1具备工艺参数编辑、存储及打印等功能。提供气相沉积渗铝工艺模块，并具备其余工艺模块的拓展功能，同时提供与渗铝技术相关的成套配置，并协助采购人实现工程化应用。
15.2实现对工艺程序的编辑、参数设置及显示、运行状态动态显示及操作、故障报警显示及记录、数据记录及历史曲线、维护及说明页面等。
15.3对主要设备故障具有自诊断和报警功能，与各个系统互联互通，信息共享，实现工艺和安全的逻辑互锁。如：与气体供给及安全监控系统、压力平衡系统及地面航吊系统之间逻辑互锁，实现安全操作。
15.4工艺管理系统及设备应具备高可靠性和连续工作的能力，自动化程度较高，操作界面简洁，可实现异常信息的自动报警与逻辑互锁。
16.电气控制系统
16.1采用PLC及配套的电器元件，可实现对钟罩式加热炉不同区域的电流进行调节控制。
16.2配置1台15.6寸触摸屏，配置21寸彩色显示器，以及1个独立的工控机系统，1套键盘和鼠标、1个打印机、1个电脑桌、1台UPS电源等组成。工控机CPU核心数量：≥8，内存容量：≥32G，固态硬盘容量：≥1TB。工控机相关软件均为长期永久授权，不得加密。
16.3配置不低于Windows10操作系统，以及国产工艺控制软件，可实现对设备各个部件、流量、开关、阀及传感器数字信号的采集与编辑，设备运行状态的监控、调节，以及安全逻辑互锁。
16.4采用模块化设计，操作界面简洁实用，能够精准显示各个阀门、探头及传感器的运行状态，以及逻辑互锁的条件，并具备各类信息的自诊断及报警功能。
17.其他要求
17.1设备涉及易燃易爆及高腐蚀性气体的阀、仪器仪表、各类传感器及流量计等元器件应选用知名品牌产品。
17.2工件支撑座采用高温合金或更高耐热材质。
17.3所有接触工艺气体及尾气的元器件材料必须防腐蚀，采用电子级电抛光管材（316L-EP）材质。采用自动焊接机器人焊接。
17.4设备主体占地尺寸：≥7m×2.5m（长度×宽度）。
17.5针对安全隐患部位，设置安全防护措施。
（二）质保期：自验收合格之日起1年。
（三）交货期：合同生效后，10个月内交货。
（四）报价要求：本次招标采用一次性报价。报价包含设备、配套辅机、配套软件、易损件、配套环保设备以及设备地基施工、运输、安装、调试、培训、税费、保险等与本项目相关的全部费用，确保设备安装后可以满足安全、环保及生产运行要求。
（五）履约保证金：中标单位须在签订合同15天内缴纳合同金额的5%作为履约保证金，验收合格后稳定运行一年且产品无质量问题，无息退还。
（六）安装调试要求
现场安装：现场完成设备就位、水电气管路连接、外围系统集成等。
系统调试：进行全面的硬件、软件、真空系统、气路系统、温控系统、安全联锁等的功能测试和参数校准。
（七）付款方式
1.合同签订后，支付合同总额30%的预付款；
2.设备制造完成在供方厂区内验收合格后，支付合同总额30%的预验收款，供方发货至需方指定地点；
3.设备在需方指定地点安装调试并通过验收后，支付合同总额30%的终验收款；
4.验收合格后稳定运行一年且产品无质量问题，支付合同总额10%的尾款。
5.每次付款前，中标单位均须提供对应的等额增值税专用发票。
（八）验收要求：按照招标公告要求、投标文件、采购合同约定的技术条款等指标进行验收。
（九）售后服务要求
现场服务：产生故障，需在2小时内响应，48小时内派遣工程师到达现场进行维修或更换故障部件。
备件供应：质保期内应免费更换因质量问题损坏的零部件。
五、投标单位资质要求
（一）具有独立承担民事责任的能力；
（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
（六）本项目不接受联合体投标，不得转包或分包。
六、评分标准
本次招标采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：
（一）针对中小企业、残疾人福利企业和监狱企业的评审（加分）
根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46号）、《江苏省财政厅关于进一步加大政府采购支持中小企业力度的通知》（苏财购〔2022〕45号）、《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）和《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库〔2014〕68号）的有关规定，对于符合上述文件规定情形的小微企业、残疾人福利性单位及监狱企业报价给予10%的扣除，用扣除后的价格参与评审，如扣除后的价格为最低价的，则作为评标基准价，中标金额则以实际投标报价为准。残疾人福利性单位属于小型、微型企业的，不重复享受政策。
小微企业提供《中小企业声明函》；监狱企业提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件；残疾人福利性单位提供《残疾人福利性单位声明函》。
注：
①填报“中小企业声明函”需严格按“工信部联企业〔2011〕300号通知中的《中小企业划型标准规定》进行。
②若供应商提供的声明函或认定证明为虚假材料，将按政府采购法相关规定处理并报请政府监管部门给予行政处罚。
根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46 号）及《中小企业划型标准规定》（工信部联企业〔2011〕300 号），本采购标的对应的中小企业划分标准所属行业为：工业。
（二）价格分（35分）
1．评标基准价：满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，评标基准价为满分35分；
2．其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算：投标报价得分＝（评标基准价／投标报价）×35分。
（三）技术参数、配置及整体综合性能分（40分）
1．技术参数及配置（30分）
以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的技术支持资料（测试报告或产品说明书）等作为评标依据，其他情况由评标委员会根据实际情况进行评判。
（1）所提供产品多项不满足招标公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经评标委员会评审可作为无效响应文件。
（2）所提供产品不满足招标公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣2分。
2．综合性能情况（10分）
（1）所提供产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况（评标委员会认为超出指标有意义的）（3分）。其中优于项，每处加1分。
（2）所提供产品的市场反馈情况（7分）。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用投标产品发表的学术论文情况等综合评定。
（四）综合商务（25分）
1．综合实力（2分）
根据投标人提供的能体现其综合实力的证明材料进行评定。
2．类似项目业绩（10分）。投标人提供2022年以来同类型设备销售业绩，每提供1项销售业绩得2分，满分10分。
注：提供合同页及盖章页。（其中合同复印件应至少体现出项目名称、甲乙双方公司名称及盖章、合同签订或生效时间等，未按上述要求提供的业绩证明均不予以认可）。
3．售后服务与培训情况等（10分）
（1）质保期（3分）。符合招标文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。
（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。
根据投标文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。
4．其它优惠措施等（3分）
根据供应商提供的在招标文件要求范围以外，评标委员会认可的优惠措施综合评定。
七、投标文件的组成
投标文件一般由下列材料组成（部分格式详见附件1、2，所有材料须加盖投标单位公章并按序装订成册）：
（一）投标文件一
1.投标函。
2.投标报价表。
3.详细配置及分项报价清单。
（二）投标文件二（文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价，否则作废标处理）
1.目录（投标资料与页码对照表，原件）。
2.投标基本情况一览表。
3.详细配置清单、技术规格偏离表和投标产品技术支持资料。
4.综合性能情况。
5.综合实力。
6.类似项目业绩。
7.质保期。
8.技术方案、服务承诺、培训承诺。
9.其他优惠措施。
10.投标单位认为应该提供的相关材料。
11.资格证明文件
（1）营业执照（复印件）。
（2）法定代表人授权书（原件）。
（3）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等，复印件）。
（4）法人授权代表身份证明材料（如身份证、护照等，复印件）及投标单位为其缴纳的社保证明（复印件）。
（5）具备履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料（复印件）或承诺函（原件）。
（6）依法缴纳税收和社会保障资金的相关资料（复印件）。
（7）最近一年度审计报告或财务报表（复印件）。
（8）近三年内在经营活动中无重大违法记录承诺函（原件）。
（9）《中小企业声明函》或《残疾人福利性单位声明函》或由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件（如有）。
特别说明：
1.“投标文件一”和“投标文件二”应分别装订和密封，并加盖投标单位公章
2.“投标文件一”，正本一份，副本一份；“投标文件二”，正本一份，副本五份。如副本与正本有出入，以正本为准。
3.相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行
八、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。
九、各投标单位在投标前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2025年11月14日12：00前将报名函（格式见附件4）发送邮件至采购人处（xnchen@suda.edu.cn）。
十、递交投标文件相关事宜：
（一）顺丰快递邮寄方式（建议优先采用）
1. 寄达时间：2025年11月21日15：00前；
2. 收件人信息：
收件人：陈老师
联系方式：17712489956
收件地址：江苏省苏州市东环路50号苏大东校区凌云楼1017室（采购与招投标管理中心）
（二）现场递交方式
1. 递交时间：2025年11月21日14:30～15：00
2. 递交地点：江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东门
十一、投标截止时间：2025年11月21日15：00。
十二、开标时间：2025年11月21日15：00。
