一、项目名称：激光镀膜系统
二、招标编号：S2025125
三、招标人：苏州大学采购与招投标管理中心
地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室
邮编：215021 传真：0512-67165076
联系人：罗老师 电话：0512-67504198，67504359
电子邮箱：lrb998@suda.edu.cn
技术联系人：王老师 电话：18351087129
电子邮箱：kxwang@suda.edu.cn
四、招标货物品名、数量、主要性能参数基本要求
本项目共分3标段，所有标段可兼投兼中。供应商可选择参与其中一个或多个标段投标，也可参与全部标段投标。
标段1：电子束真空镀膜机（预算金额为600万元）
标段2：高能脉冲磁控溅射镀膜机（预算金额为52万元）
标段3：真空紫外热蒸发镀膜机（预算金额为540万元）
第一标段 电子束真空镀膜机 1台
1. 真空室箱式前开门结构，内腔直径大于等于1800 mm，不锈钢材料。
2. 配行星工件架和平盘，转速可调，最高可达30转/分钟,3个行星盘，单个最大载重量80Kg,工件竖直方向的位移量不超过1 mm。
3. 极限真空优于5×10-5Pa，从大气抽至工作真空2×10-3Pa 时间小于20分钟。漏气率低于9×10-5Pa.m3/秒
4. 烘烤温度可调，最高大于450℃，温度均匀性350℃±10℃（90 分钟）。
5. 配光学膜厚监控仪，波长范围：350nm-1100nm，光控精度优于0.5%,60点监控篇旋转机构，监控片最高加热温度300℃
6. 电子枪2套，270°偏转，自动灭弧系统，加速电压4kV~10kV连续可调，放射电流0~1A连续可调，最大输出功率10kW。配环形坩埚和点式坩埚。
7. 配干泵，低温泵，低温冷凝器。
8. 配射频离子源，网栅尺寸大于23cm，射频功率不低于1800W，加速电压100V~1000V可调，最大束电流不小于1500mA。
9. 配充气控制系统：压力范围6.6×10-2⁓3.0×10-3Pa。
10. 配水晶体膜厚监控3套，分别位于顶部中心和各坩埚上方。
11. 配冷却水系统。
12. 配电气控制系统。
13. 配镀膜控制系统。
14. 膜厚均匀性，1000mm×350mm光学元件镀膜均匀性PV值±0.5%（考察SiO2/HfO2@500nm）。
15.质保期不少于1年。
第二标段 高能脉冲磁控溅射镀膜机 1台
1. 真空腔室尺寸≥Ф600*500mm。
2.靶材样品面积：φ75mm。
3. 可溅射材料：金属、氧化物、氮化物、半导体。
4.极限真空度≤6.6×10-6Pa。抽速：短时间暴露大气环境，25min内真空度≤7×10-4Pa，保压：停泵10h后≤0.9Pa。
5.溅射靶头数量5个，靶头可适配射频、直流、高能脉冲、偏压四种电源。
6.最高加热温度≥650℃，长期工作温度≥600℃，温控精度±3℃。
7.溅射电源种类：2个直流电源:输出功率≥1000W，连续工作时间≥3h；1个脉冲偏压电源：≥-1000V/1A；2个射频电源：输出功率≥600W，连续工作时间≥5h，频率全自动匹配；1个高能脉冲电源；高能脉冲电源：1台，DC输入功率5000W，脉冲输出功率+/- 500KW (peak)，工作频率DC - 50 kHz，开启和关断时间≥5µs (TON + TOFF ≥ 20µs)，抑弧时间≤2 µs，抑弧重启时间30 µs ⁓32000 µs。
8.共焦磁控溅射靶（溅射靶角度可调），分布在一个圆周上，各靶可独立/顺次/共同工作。
9.靶在下，待沉积样品在下，从下往上沉积。
10.基板数不少于5组，基板尺寸不小于100mm×100mm，公自转动轴位5组；每个工位均可进行独立加热，基片通过加热丝加热方式，加热炉加热温度：室温～650°C，加热电源配备控温表，控温方式为PID自动控温及数字显示。
11.供气管路数量3路，单路最大流量≥100sccm，包括氧气、氩气、氮气。
12.提供气路卡套、压垫、管接头等3套。
13.设备在抽真空、溅射等全过程有计算机全自动可编程序控制系统。
14.设备配备工业屏，可对全工艺、全动作、全功能的执行过程中的数据，流程，报警等信息进行显示，并可对设备相关部件进行操作。
15.安全控制系统对超温、超压、停水、停电和设备运行状态下的突发故障或异常情况做出声光报警、自锁或互锁，保护等动作。
16. 双通道膜厚仪监测系统。
17.设备验证验收要求
镀膜指标：实现镀制二氧化铪薄膜，厚度600 nm，片内均匀性≤±2%，片间均匀性≤±2%；实现镀制铝薄膜，厚度100 nm，片内均匀性≤±1%，片间均匀性≤±1%。测试方法为：使用台阶仪或SEM测试。
18.质保期不少于3年。
第三标段 真空紫外热蒸发镀膜机1台
（一）. 真空室
1. 材质为不锈钢，真空室内表面必须电抛光处理。
2.配置真空冷泵，抽速10000L/s。
3. 配置干泵前级泵，可保障抽气8分钟内打开高阀。
4.真空测量系统包括3 路皮拉尼热偶低真空计，1 路电离高真空计。
5.配置水冷式防污护板4件，水冷百叶窗2件。
6. 4 个行星工件盘，材质为不锈钢，行星盘直径390mm，1套四片。
7.采用氮化硅陶瓷板辐射加热，陶瓷板采用触点连接，无链接线缆；烘烤位置及辐照方向可调。加热温度：350℃ (40 分钟以内)。
8.极限真空度p≤2.0×10-7mbar。
9. 抽气速率，抽气30分钟后真空度<1.0×10-5mbar。
10. 采用防湍流真空抽气，主抽气管道采用全新63mm 管道高品质无油角阀，低温泵、预抽使用高品质无油管道角阀。
11. 破空采用防湍流破空，采用2件高品质无油管道角阀破空。
（二）电子枪和阻蒸系统要求
1. 电子枪枪头两件，DN100安装法兰，主要部件材质为无氧铜，水冷、高压源、控制电流直接通过法兰进入，真空室内部无裸露线缆设计，高压连接和扫描线圈连接内隐处理。
2.高压单元基座，坩埚基座，扫描单元基座水冷。
3.配置高压电源，10KV/1A高压电源采用开关电源；具有过流，超温，打火等报警信号。
4. 配置两套灯丝变压器，分别供给两个电子枪枪头，两个枪头可独立运行，灯丝变压器置于电子枪附近，灯丝变压器的高压输入输出采用内插式电气连接方式。
5. 阻蒸电流1200A，供应4路阻蒸，由镀膜软件控制实现自动镀膜功能。
6. 阻蒸电极带水冷，水冷延伸至真空室内部，直至蒸发舟压块位置。
7. 提供安装和软件兼容服务，使电子枪和阻蒸可以由镀膜软件控制实现自动镀膜功能。
（三）离子源系统要求
1. 具备打火抑制功能；可抗击瞬间短路冲击，短路取消后输出恢复时间＜2ms。
2. 离子能量范围：最小50eV，最大200eV以上，稳定工作电压可低于100V。
3. 总离子电流：大于20A@ P<4×10-4mbar。
4.束流密度：70cm高度，直径100cm镀膜区域内最大需达到0.20mA/cm²。
5. 能承受高氧气工艺，最大充氧量不小于60sccm。
6. 真空密封性<2.0×10-7mbar
（四）工艺要求
1.设备完成过国际上193nm或者248nm激光薄膜的制备。
2. 交付时完成工艺如下：193nm透过率>99.6%，248nm透过率>99.8%。
（五）质保期不少于1年。
五、评分标准
本次招标采用综合评分法，总分为100分。本评分标准适用于所有标段，具体内容如下：
（一）针对中小企业、残疾人福利企业和监狱企业的评审（加分）：
根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46号）、《江苏省财政厅关于进一步加大政府采购支持中小企业力度的通知》（苏财购〔2022〕45号）、《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）和《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库〔2014〕68号）的有关规定，对于符合上述文件规定情形的小微企业、残疾人福利性单位及监狱企业报价给予10%的扣除，用扣除后的价格参与评审，如扣除后的价格为最低价的，则作为评标基准价，中标金额则以实际投标报价为准。残疾人福利性单位属于小型、微型企业的，不重复享受政策。
小微企业提供《中小企业声明函》；监狱企业提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件；残疾人福利性单位提供《残疾人福利性单位声明函》。
注：
①填报“中小企业声明函”需严格按“工信部联企业〔2011〕300号通知中的《中小企业划型标准规定》进行。
②若供应商提供的声明函或认定证明为虚假材料，按“政府采购法”相关规定处理并报请政府监管部门给予行政处罚。
根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46 号）及《中小企业划型标准规定》（工信部联企业〔2011〕300 号），本采购标的对应的中小企业划分标准所属行业为：工业。
（二）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）
1．技术参数及配置（35分）
以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由评标委员会根据实际情况进行评判。
（1）所提供产品多项不满足招标公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经评标委员会评审可作为无效响应文件。
（2）所提供产品不满足招标公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣2分。
2．综合性能情况（15分）
（1）所提供产品性能参数优于招标文件中技术要求情况（评标委员会认为超出指标有意义的）（6分）。其中优于项，每处加2分。
（2）所提供产品的市场反馈情况（9分）。根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用提供产品发表的学术论文情况等综合评定。
（三）价格分（35分）
1．基准价：满足招标文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分。
2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。
（四）综合商务（15分）
1．综合实力（2分）
根据供应商综合实力评定。
2．售后服务与培训情况等（10分）
（1）质保期（3分）。符合招标文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。
（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。
根据招标文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。
3．其它优惠措施等（3分）
根据供应商提供的在招标文件要求范围以外，评标委员会认可的优惠措施综合评定。
六、本次招标采用一次性报价。报价应包括税金、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。
七、供应商资质要求
（一）一般资格条件
1.具有独立承担民事责任的能力
2.具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度
3.具有履行合同所必需的设备和专业技术能力
4.有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录
5.近三年内，在经营活动中没有重大违法记录
6.本项目不接受联合体投标
（二）落实政府采购政策需满足的资格要求：无。
八、投标文件的组成
（一）投标文件一
1.投标函
2.投标报价表
3.详细配置及分项报价清单
（二）投标文件二（文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价，否则作废标处理）
1.投标基本情况一览表
2.详细配置清单、技术规格偏离表和投标仪器设备彩页
3.技术方案、服务承诺、培训承诺
4.资格证明文件
5.《中小企业声明函》或《残疾人福利性单位声明函》或由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件（如有）
6.投标人认为应提供的其他材料
特别说明：
1.“投标文件一”和“投标文件二”应分别装订和密封，并加盖投标单位公章
2.“投标文件一”，正本一份
“投标文件二”，正本一份，副本五份
3.相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行
九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。
十、各投标人在投标前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2025年11月20日12：00前将报名函（格式见附件3）发送邮件至采购人处（lrb998@suda.edu.cn）。
十一、递交投标文件相关事宜：
（一）顺丰快递（建议优先采用）
1. 寄达时间：2025年11月25日14：00前；
2. 收件人信息
收件人：罗荣飚
联系方式：13656209516
收件地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室
（二）现场递交方式
1. 递交时间：2025年11月25日13：30～14：00
2. 递交地点：江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东大门
十二、投标截止时间：2025年11月25日14：00。
十三、开标时间：2025年11月25日14：00。
