一、项目名称：光刻系统
二、招标编号：S2025122
三、招标人：苏州大学采购与招投标管理中心
地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室
邮编：215021 传真：0512-67165076
联系人：罗老师 电话：0512-67504198，67504359
电子邮箱：lrb998@suda.edu.cn
技术联系人：王老师 电话：18351087129
电子邮箱：kxwang@suda.edu.cn
四、招标货物品名、数量、主要性能参数基本要求
本项目共分3标段，所有标段可兼投兼中。供应商可选择参与其中一个或多个标段投标，也可参与全部标段投标。
标段1：双面对准紫外光刻机（预算金额为51万元）
标段2：超快激光精密测量系统（预算金额为220万元）
标段3：高精度3D无掩膜光刻设备（预算金额为100万元）
1.光源类型： LED 光源或汞灯等。
2.曝光面积：8寸向下兼容。
3.曝光波长： 365 mm: 0-50 mW/cm2数字连续可调。
4.分辨力：1μm。
5.对准精度：1.2 μm(单面)，2 μm(双面，片厚≤0.8mm)。
6.正面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围40mm⁓140mm 。
7.底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围20mm-140mm 。
8.具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能。
9.照明不均匀性: 士2%(Ф100 mm 范围)，士3%(Ф150 mm 范围)。
10.质保期不少于1年。
1. 激光脉冲时域特性测量
1.2 脉宽长度测试范围：7fs ⁓ 10ps。
1.4 扫描分辨率≤ 2fs。
1.5 最小延迟增量：1fs。
1.6 光谱分辨率：0.6nm ⁓ 1nm。
1.8 脉冲复杂度：TBWP ≤ 50。
1.9 强度精度：~ 2%。
1.11 实时灵敏度：~ 4W2。
1.15 采集速度：≥2Hz (64x64栅格)。
2. 激光空域特性测量
2.1全自动分析激光光束质量：光斑大小、能量分布、质心、峰值中心、高斯拟合度、光斑指向稳定性、M2因子、发散角等，所有结果均符合ISO标准。
2.3 最大测量光斑大小：6.7×5.6mm。
2.4 分辨率：2472×2064。
2.7 速度快：1分钟内出结果，并可输出 PDF测量结果报告以及多种格式的日志。
2.8含自动衰减器。
2.9连续和脉冲激光均可测量。
3. 激光波形捕获特性测量
3.1 模拟通道带宽：2GHz。
3.2 4个模拟通道，16个数字通道，1个EXT通道。
3.3 最高实时采样率：10GSa/s(非交织模式)。
3.4 最高存储深度：500Mpts。
3.5 波形捕获率高于600,000个波形每秒。
3.6 选配支持眼图和抖动分析(需购买选件)。
3.7 垂直灵敏度范围：1mV/div-10V/div(1MΩ)。
3.8 时基范围：200ps/div-1ks/div。
3.9 水平模式：YT, XY, SCAN, ROLL。
3.10 多达45万帧的硬件实时波形不间断录制和回放功能。
3.11 自动测量：精确测量和普通测量两种模式，支持全内存硬件精确测量。
3.12 提供数字电压表、6位频率计和累加器。
4. 激光光谱特性测量
4.2 最小波长分辨率≤0.02nm。
4.4 全波长范围波长精度≤ ±0.2nm。
4.5 633nm处波长精度≤ ±0.05nm。
4.6 最大采样点数≥ 20001。
4.7 功率精度≤ ±1.0dB。
4.8 功率线性度≤ ±0.2dB。
4.9 输入方式：空间结构，兼容单模、多模、大芯径光纤接入测试。
4.10 模式：APP模式，支持后续功能性测试便于使用。
4.11 动态范围：60dB。
5. 激光频谱特性测量
5.1 频率范围：10Hz ⁓ 7.5GHz。
5.2 分辨率带宽：1Hz ⁓ 10MHz。
5.3 单边带相噪SSB： f=1GHz, < –135dBc@1MHz；< –115dBc@100kHz。
5.4 1dB压缩点：前置放大器off， +10dBm@f ≤ 7.5GHz；+5dBm@f > 7.5GHz。
5.5 频率响应< 0.5dB@3.6GHz ≤ f ≤ 7.5GHz。
5.6 底噪声DANL：–151dBm@1MHz ≤ f < 6GHz(预放关)。
5.7 最大扫描点数：100001。
5.8 内置分析带宽：28MHz 。
5.9 扫描时间：1μs to 16000s。
5.10 I/Q数据存储深度：100Msa。
5.11 二次谐波截止点(SHT)：80dBm。
5.12 ADC无杂散动态范围：–75dBc。
5.13 三阶交调TOI：> 15dBm, typ. 18dBm @ f =6GHz。
5.14 10.1 英寸高分辨率多点触控中文显示屏，1280×800分辨率。
5.15 配置SCPI命令自动记录(SCPI Recording)功能。
6. 激光热特性测量
6.1 红外分辨率：探测器物理分辨率640×480，具备超像素功能，分辨率增强至1280×960。
6.2 探测器类型：非制冷型红外焦平面探测器。
6.3 热灵敏度：30mk(0.03°C)。
6.4 红外镜头视角：25°×19°。
6.5 空间分辨率(IFOV)：0.68mrad。
6.6 测温量程：-20℃至+700℃，可选配-40℃低温扩展和2000℃高温扩展。
6.7 测温精度：0°C至+120°C范围内，测温精度为±1°C；其它量程为±2°C或 ±2%。
6.8 图像帧频：30Hz。
6.9 响应波长：7μm ⁓14μm。
6.10数码变焦：1-35倍连续变焦。
6.11对焦方式：连续自动对焦，对比度自动对焦、手动对焦，激光自动对焦。
6.12高温差均衡成像技术：有效屏蔽高温热源干扰，清晰显示被测物热梯度变化，避免黑屏式显示。
6.13复合调色聚焦成像技术：复杂场景中分析特定目标的细微温差，有利于现场快速得出正确的诊断结论。
6.14细节增强成像：能在实时热像画面中，通过触控的方式呈现目标区域的彩色热成像，其他区域则以黑白热成像显示，大幅度增强复杂场景中特定目标的细微温差成像效果，有利于测试过程中发现细微的热梯度变化。
1.配置
1.1 高速声光扫描器（AOD）一套。
1.2 半导体激光器一套。
1.3 大理石底座及气浮防震装置一套。
1.4 精密光学系统一套。
1.5 精密工件台系统一套。
1.6 光学自动聚焦系统一套。
1.7 写头1个。
1.8 监控装置及测量软件一套。
1.9 电气控制系统一套。
1.10 温控防尘罩一套。
2.工作场地条件
2.1洁净等级:Class 1000。
2.2电力要求：230VAC±5%，50/60Hz，16A。
2.3 气温范围：22℃～24℃，稳定性±1℃。
2.4 相对湿度：50％±10%。
2.5 震动等级优于VC-C。
2.6 照明采用安全黄光。
3.主要技术指标
3.1 刻写通道数：1 。
3.2 直写写头数量：1。
3.2.1 一般写头：最小特征尺寸≤0.5µm，写入速度≥15mm2/min。
3.2.2 写头需包含闭环压电与闭环电机。
3.3 最高分辨率≤1000nm。
3.4 套刻精度≤500nm。
3.5灰度等级4096。
3.6最小线宽间距≤2um。
3.7 线宽均匀性≤50nm(最高分辨率条件下)。
3.8 配置中空位移台，开孔尺寸不小于240mm×240mm。
3.9 配置镂空真空吸附台，适用于背部对准。
3.10 可接受最大基板尺寸≥8×8英寸。
3.11 有效曝光面积≥200×200mm2。
3.12 可接受基板厚度：0.1mm⁓15mm。
3.13 温控防尘罩：温度控制：±0.1℃(场地环境控制在±1℃)。
3.14 激光发生器
3.14.1 激光器种类：半导体激光器。
3.14.2 激光器波段：375nm。
3.14.3 激光能量≥70mW。
3.15 精密光学系统：由一组高精密光学元件加上声光调制器(AOM)及声光偏转器(AOD)组成。
3.16 精密工作台平台系统：利用高精密零膨胀光栅尺反馈来控制线性电机的移动，位移台控制器：AEROTECH线性放大器，Automation1-iXL2e，包含65536倍频模块，双轴PSO。
3.17 自动跟焦范围：100µm。
3.18 计算机控制系统：可控制激光曝光、线宽位置，坐标测量和平台移动。可将通用数据格式转换为光刻使用的数据格式，再通过将数据转化为激光束偏转信号在衬底上曝光出所需图形。数据转换软件基本功能：图形镜像处理、图形缩小放大处理、图形旋转角度处理、激光扫描区域选择和绘图读写头选择
3.19 基板背向对准功能：背向对准精度≤1µm。
4.质保期不少于1年。
五、评分标准
本次招标采用综合评分法，总分为100分。本评分标准适用于所有标段，具体内容如下：
（一）针对中小企业、残疾人福利企业和监狱企业的评审（加分）：
根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46号）、《江苏省财政厅关于进一步加大政府采购支持中小企业力度的通知》（苏财购〔2022〕45号）、《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）和《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库〔2014〕68号）的有关规定，对于符合上述文件规定情形的小微企业、残疾人福利性单位及监狱企业报价给予10%的扣除，用扣除后的价格参与评审，如扣除后的价格为最低价的，则作为评标基准价，中标金额则以实际投标报价为准。残疾人福利性单位属于小型、微型企业的，不重复享受政策。
小微企业提供《中小企业声明函》；监狱企业提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件；残疾人福利性单位提供《残疾人福利性单位声明函》。
注：
①填报“中小企业声明函”需严格按“工信部联企业〔2011〕300号通知中的《中小企业划型标准规定》进行。
②若供应商提供的声明函或认定证明为虚假材料，按“政府采购法”相关规定处理并报请政府监管部门给予行政处罚。
根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46 号）及《中小企业划型标准规定》（工信部联企业〔2011〕300 号），本采购标的对应的中小企业划分标准所属行业为：工业。
（二）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）
1．技术参数及配置（35分）
以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由评标委员会根据实际情况进行评判。
（1）所提供产品多项不满足招标公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经评标委员会评审可作为无效响应文件。
（2）所提供产品不满足招标公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣2分。
2．综合性能情况（15分）
（1）所提供产品性能参数优于招标文件中技术要求情况（评标委员会认为超出指标有意义的）（6分）。其中优于项，每处加2分。
（2）所提供产品的市场反馈情况（9分）。根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用提供产品发表的学术论文情况等综合评定。
（三）价格分（35分）
1．基准价：满足招标文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分。
2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。
（四）综合商务（15分）
1．综合实力（2分）
根据供应商综合实力评定。
2．售后服务与培训情况等（10分）
（1）质保期（3分）。符合招标文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。
（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。
根据招标文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。
3．其它优惠措施等（3分）
根据供应商提供的在招标文件要求范围以外，评标委员会认可的优惠措施综合评定。
六、本次招标采用一次性报价。报价应包括税金、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。
七、供应商资质要求
（一）一般资格条件
1.具有独立承担民事责任的能力
2.具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度
3.具有履行合同所必需的设备和专业技术能力
4.有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录
5.近三年内，在经营活动中没有重大违法记录
6.本项目不接受联合体投标
（二）落实政府采购政策需满足的资格要求：无。
八、投标文件的组成
（一）投标文件一
1.投标函
2.投标报价表
3.详细配置及分项报价清单
（二）投标文件二（文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价，否则作废标处理）
1.投标基本情况一览表
2.详细配置清单、技术规格偏离表和投标仪器设备彩页
3.技术方案、服务承诺、培训承诺
4.资格证明文件
5.《中小企业声明函》或《残疾人福利性单位声明函》或由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件（如有）
6.投标人认为应提供的其他材料
特别说明：
1.“投标文件一”和“投标文件二”应分别装订和密封，并加盖投标单位公章
2.“投标文件一”，正本一份
“投标文件二”，正本一份，副本五份
3.相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行
九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。
十、各投标人在投标前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2025年12月1日12：00前将报名函（格式见附件3）发送邮件至采购人处（lrb998@suda.edu.cn）。
十一、递交投标文件相关事宜：
（一）顺丰快递（建议优先采用）
1. 寄达时间：2025年12月5日9：00前；
2. 收件人信息
收件人：罗荣飚
联系方式：13656209516
收件地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室
（二）现场递交方式
1. 递交时间：2025年12月5日8：30～9：00
2. 递交地点：江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东大门
十二、投标截止时间：2025年12月5日9：00。
十三、开标时间：2025年12月5日9：00。
