光刻系统  中标公告

发布者:高海燕发布时间:2025-12-05浏览次数:10

招标编号:S2025122

项目名称:光刻系统

第一标段:双面对准紫外光刻机(1套)

中标单位:杭州捷孚电子技术有限公司

中标金额:49.5万元人民币


第二标段:超快激光精密测量系统(1套)

中标单位:北京凌云光通信技术有限责任公司

中标金额:219万元人民币


第三标段:高精度3D无掩膜光刻设备(1套)

中标单位:杭州玉之泉精密仪器有限公司

中标金额:99.5万元人民币


公告:一个工作日

若对以上结果有异议,请在中标公告发布期满后的七个工作日内,以书面形式实名向本中心提出质疑,逾期将不再受理。

联系电话:0512-67169460,E-mail:zbzx@suda.edu.cn