一、询价采购编号：X2025002
二、询价人：苏州大学采购与招投标管理中心
地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼904室
邮编：215021 传真：0512-67165076
联系人：丁老师 电话：0512-67504198，67504359
电子邮箱：dingy@suda.edu.cn
技术联系人：杨老师 电话：18915424184
电子邮箱：yangbiao@suda.edu.cn
三、设备名称、数量及主要技术指标等要求：
氩离子刻蚀枪 1套
（一） 主要技术指标及配置要求
1.氩离子刻蚀枪
1.1.安装法兰：DN40CF
1.2.工作电压：0.12-5 keV
1.3.束流强度：>120 uA/cm2 (工作距离30 mm时)
1.4.保护罩材质：铜
1.5.插入长度：143 mm
1.6.工作距离：30～200 mm
1.7.最大烘烤温度：250℃
2.氩枪控制单元
2.1.能量调节范围：0～5 keV；分辨率0.01 keV，波动＜200 meV
2.2.束流调节范围：0.01～10 mA，分辨率0.01 mA
2.3.通讯接口：串口和以太网
2.4.触摸屏尺寸：7英寸，显示数值
2.5.计数时间范围：0 s～99h59m
3.全金属微漏阀
3.1.法兰尺寸：两端CF16
3.2.驱动方式：手动
3.3.材质：阀体，不锈钢；隔膜，镀金不锈钢片
3.4.漏率< 1 × 10-10 mbar ls-1
3.5.耐受压差范围：UHV-10 bar
3.6.开闭次数：20000（首次维护前）
3.7.密封方式：隔膜硬对硬密封
3.8.最高烘烤温度：300℃
3.9.调节范围：1 × 10-10 mbar ls-1 to 500 mbar ls-1
3.10.流导：0.05 ls-1
（二）质保期不少于1年；交货期不超过1个月。
（三）提供产品的技术参数截图或产品手册。
四、询价采购文件价格：人民币300元（相关缴纳事宜详见附件），售后不退。
五、报价截止时间：2025年2月21日14:00。
六、有兴趣并符合资格条件的供应商，请务必认真阅读《苏州大学网上询价采购仪器设备报价须知》，在接受其所有条款要求的基础上按要求进行报价。
七、报价文件递交：顺丰快递邮寄（请充分考虑快递送达时间，避免错过时间）。
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询价采购编号：X2025002
成交供应商：合肥瓦蔻电子技术有限公司，成交价12150欧元。