一、项目名称：半导体参数测试仪
二、项目编号：S2022050
三、采购人：苏州大学采购与招投标管理中心
地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室
邮编：215021 传真：0512-67165076
联系人：罗老师 电话：0512-67504198，67504359
电子邮箱：lrb998@suda.edu.cn
技术联系人：陈老师 电话：18862241312
电子邮箱：kchen@suda.edu.cn
四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求
半导体参数测试仪 1套
1.系统SMU单元技术指标
1.1配置情况：配置3个SMU，1个CMU；设备容量，支持10个槽位，最多扩展到10个SMU；
1.2电流源测试范围：-100mA～100 mA；电流测量分辨率为1fA。
2.SMU单元其他通用技术指标
2.1电压源测试范围：-100 V～ 100 V；
2.2电压源设定最小分辨率0.5μV。
3.系统的C-V单元技术指标
3.1 频率范围：1KHz～5MHz，频率分辨率达1mHz；
3.2偏置电压：最高支持100V直流偏置（SMU CMU统一单元）；
3.3 测量精度：0.20%；
3.4 IV-CV测试切换开关，满足一次连接多次测量的要求；
3.5系统具备C-V参数分析能力，可提取氧化层厚度、栅面积、串联电阻、平带电压、开启电压、体掺杂、金属-半导体功函数、德拜长度、体电势等参数。
4.主机产品脉冲I-V模块测试指标:
4.1 脉冲发生器频率：1Hz-5MHz；双通道；
4.2 系统最小脉冲宽度：10ns；
4.3在脉冲发生器模式下，最小脉宽为10ns@10V；直流输出和任意波形生成，具有 10 ns 的可编程分辨率（10V 峰-峰值输出）；
4.4在脉冲I-V模式下，可以精确的 Id-Vd 和 Id-Vg 测量,选通脉宽最小值是 10 ns，上升和下降时间为 2 ns,同时满足1 µs 电流测量分辨率；
4.5 在高电压半导体脉冲发生模式下，最大脉冲电压高压输出可达±40 V可以灵活地生成任意波形，分辨率为 10 ns，高度精确的强励电压与 0.4 mV 分辨率，频率范围为 0.1 Hz 至 33 MHz；
4.6测量I和V的采样率5ns/点。
5.能够在直流(SMU)、交流(CVU)、脉冲（PMU）等不同测量模式之间，只需对ASU+RSU的软件简单切换，即可实现测量。
6.SCUU能够在不降低测量精度的前提下切换 IV 和 CV 测量，满足一次连接多次测量。
7.系统支持软件功能
7.1 IV-T功能，支持I-T模式的测试，可实现IV曲线的实时采集，采样总数10万点，采样间隔支持0.1ms~65s范围，测试时长约在10s-1800h，能够自动记录数据，支持数据拷贝输出；
7.2支持多种测量模式，实现快速设置和测量执行（应用测试、典型测试、追踪仪测试、快速测试和示波器显示）；
7.3配备数百种测量（应用测试）程序库，允许快速执行复杂器件表征。程序库应包括常见的CMOS 晶体管 Id-Vd、Vth、击穿、电容、QSCV 等，可靠性测试包括NBTI/PBTI、电荷泵、电迁移、热载子注入、恒增电流（J-Ramp）、TDDB 等，存储器包括Vth、电容、耐久测试等测试，功率器件，纳米器件等应用测试；
7.4支持图形显示和自动分析功能，能够利用自动记录特性来保存/调用测量数据和设置并导入 Excel 和图像以便分析和报告。
8.配置计算机：Windows 7操作系统，内存不少于2GHz，带刻DVD驱动器，接口类型包括： GPIB ，LAN，USB，15英寸以上液晶显示屏。
9.保质期不少于1年；
10.报价要求
若采购需求未发生实质性变动（由磋商小组进行认定），本项目将不再组织二次报价，即以供应商响应文件中的报价为最终报价。
五、评分标准
本次磋商采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：
（一）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）
1．技术参数及配置（35分）
以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。
（1）所提供产品多项不满足磋商公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经磋商小组评审可作为无效响应文件。
（2）所提供产品不满足磋商公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣2分。
2．综合性能情况（15分）
（1）所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件中技术要求情况（磋商小组认为超出指标有意义的）（5分）。其中优于项，每处加2分。
（2）所提供产品的市场反馈情况（10分）。根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用提供产品发表的学术论文情况等综合评定。
（二）价格分（35分）
1．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分；
2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。
（三）综合商务（15分）
1．供应商综合实力（2分）
根据供应商综合实力评定。
2．售后服务与培训情况等（10分）
（1）质保期（3分）。符合磋商文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。
（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。
根据磋商响应文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。
3．其它（3分）
（1）磋商响应文件质量（1分）。根据磋商文件的规范性、完整性等情况综合评定。
（2）其它优惠措施等（2分）。根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。
六、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金(含美国产品被加征关税)、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。
七、供应商资质要求
（一）在中国境内注册成立的企业，具有独立法人资格。
（二）经营范围包含报价产品。
（三）本项目不接受联合体报价。
八、磋商响应文件的组成
（一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部分表格样式见附件），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册：
1. 磋商响应资料与页码对照表。
2. 磋商响应函（原件）。
3. 响应基本情况一览表（原件）。
4. 详细配置清单（原件）。
5. 技术规格偏离表（原件）。
6. 公司简介（包括公司业绩、公司荣誉、公司资质、财务状况等，原件）。
7. 资格证明材料
（1）营业执照、税务登记证以及组织机构代码证（复印件）。
（2）法定代表人授权书（原件）。
（3）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）。
（4）法人授权代表身份证明材料（如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）。
（5）供应商最新的年度审计报告或财务报告（复印件）。
（6）仪器设备生产或经营企业许可证（复印件，特殊行业必须提供）。
（7）仪器设备销售代理授权证明（非投标产品生产制造厂商投标的，须按第2.2条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。
（8）有关质量认证中心出具的质量体系认证证书（例如：ISO、FDA、CE、3C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。
（9）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。
8. 服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。
9. 供应商认为应该提供的其他材料。
（二）特别说明
1. “磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章；
2. 正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；
3. 相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。
九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。
十、磋商文件价格：人民币500元（相关缴纳事宜详见附件2），售后不退。
十一、供应商在报名前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2022年7月21日12：00前将报名函（格式见附件3）发送邮件至采购人处（lrb998@suda.edu.cn）。
十二、递交磋商响应文件相关事宜：
（一）顺丰快递（建议优先采用）
1. 寄达时间：2022年7月26日9：00前；
2. 收件人信息：
收件人：招标中心罗荣飚
联系方式：13656209516
收件地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室
（二）现场递交
1. 现场递交时间：2022年7月26日8：30～9：00
2. 现场递交地点：江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东大门
十三、递交磋商文件截止时间：2022年7月26日9：00。
