一、项目名称：有机金属真空热蒸镀仪
二、项目编号：S2026078
三、预算金额：49.8万元人民币
四、采购人：苏州大学采购与招投标管理中心
地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室
邮编：215021传真：0512-67165076
联系人：丁老师 电话：0512-67504198、67504359
电子邮箱：dingy@suda.edu.cn
技术联系人：师老师 电话：18862184984
电子邮箱：ydshi@suda.edu.cn
五、采购货物品名、数量及主要性能参数要求
有机金属真空热蒸镀仪 1套
（一）主要技术性能指标及配置要求
1. 底盘结构
1.1 采用焊接式框架，外观要求白色喷漆处理，底部带有轮子可推动，并带有可调节高度的支脚。
1.2 机架带有机械旋转手臂，有多角度调节操作界面，电气控制集成到底盘上，与真空腔体一体。
2. 基片架结构
2.1 可以固定1片尺寸不小于135mm×135mm的基片，向下兼容，带水冷，采用嵌入式结构。
2.2 电机驱动实现连续旋转，最大转速可达30转/分钟，通过磁流体与基片托盘连接。
2.3 配有二个挡板，气缸驱动，二个挡板组合使用，可遮挡范围135mm×135 mm。
2.4 腔体门板上安装有长条形观察窗，并附带挡板，通过磁流体打开与关闭。
3. 蒸发源
3.1 十二组蒸发源，用于材料蒸发，可蒸发常见有机、金属、金属氧化物以及其它材料，源与基片的垂直距离≥350mm。
3.2 每组蒸发源的上方同时配有防护板来防止蒸发源的交叉污染，防护板通过气缸驱动，左右旋转打开方式。
3.3源与源之间装有隔板，并保证源与源之间材料不相互污染。
3.4 三台蒸发电源，每台功率≤1.5KW，精度0.1A，用于蒸发材料。配合膜厚仪，能够实现三源共蒸发。
4. 自动化控制软件：带有一键自动蒸镀功能，即软件设置好所有材料的相关参数，即可完成抽真空，电源升降功率，电机旋转，材料切换，开关挡板等所有动作。
5. 膜厚控制系统
5.1 三个水冷式标准晶振传感器，安放于基底附近。
5.2 配置5通道膜厚仪，速率精度0.001Å/s，厚度精度0.01 Å,可同时显示4个膜厚探头的读数；单片内膜厚匀性≤5%。
6. 真空室
6.1 真空室由不锈钢制成，内部尺寸至少为400mm×400mm×560mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及蒸发电极、真空泵、样品盘等装置。
6.2 真空腔体配备两个可以完全打开的门，前门为移门，通过与直线导轨，滑块等装置连接，并连接手套箱使用。
6.3 腔体极限真空优于3.5*10-5pa，从常压到5*10-4pa不超过15min（充氮气保护）
6.4 带有旁抽系统，可以在不关闭分子泵的条件下，打开腔室，进行样品及材料的更换。
6.5 腔体内表面预留安装金属防污挡板接口，并配备金属防污挡板。
7. 真空系统
7.1 前级泵的抽速不低于24m³/h。
7.2主泵采用抽速≥700 l/s的分子泵。
7.3 自动抽气控制，带安全互锁功能。
7.4 真空室配真空计，测量范围为大气至10-5pa。
8. 手套箱系统
8.1 手套箱长度≤1500mm；
8.2 水氧含量均＜1ppm
（二）质保期不少于3年（验收合格后起算）。
（三）交货期：合同签订后30天内。
六、评分标准
本次磋商采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：
（一）价格分（35分）
1．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分；
2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。
（二）技术参数、配置及整体综合性能分（47分）
1．技术参数及配置（34）
以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。
（1）所提供产品多项不满足磋商公告要求（负偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经磋商小组评审可作为无效响应文件。
（2）所提供产品不满足磋商公告要求（负偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣2分。（34分）
2. 所提供产品性能参数优于磋商公告技术要求的（磋商小组认为优于指标有意义的），其中优于项每处加2分。（6分）
3. 技术方案（7分）
供应商提供为实现本项目磋商公告技术参数要求而制定的技术方案。
技术方案详尽、合理、针对性强，能完全符合用户科研需求的得7分。
技术方案规范、较合理、针对性一般，能符合用户科研需求的得4分。
技术方案有疏漏、合理性一般、没有针对性，部分符合用户科研需求的得2分。
技术方案完全不能符合用户科研需求或未提供技术方案的得0分。
（三）综合商务（18分）
1.业绩（5分）。供应商提供自2023年10月起至今同类型设备销售业绩，每提供1份业绩得1分，满分5分。（注：①提供业绩合同复印件；②以签订合同日期为准；③同一单位业绩不重复计分。）
2.市场反馈情况（2分）。供应商提供同类型设备现有用户反馈情况，每提供1份得1分，满分2分。反馈情况需含反馈单位公章、项目名称、型号、采购时间、满意度、联系人及电话，。
3.售后服务与培训情况等（9分）
（1）质保期（2分）。在磋商文件要求基础上每增加1年质保期加1分。
（2）售后服务与培训方案(7分）
供应商对本项目制定售后服务与培训方案，方案至少包括：①售后服务人员、②服务机制、③服务体系的完备性等内容④培训内容、人员与时长等。
售后服务人员及服务机制内容涵盖全面、科学、合理；响应时间及时、故障解决方案科学合理，服务体系完备，培训内容总体可操作性及针对性贴合本项目需求的得7分；
售后服务人员及服务机制内容涵盖基本全面、规范；响应时间合理、故障解决方案基本合理，服务体系基本合理，培训内容总体具有一定操作性，基本符合采购需求的得4分；
售后服务人员及服务机制内容欠缺规范，响应时间不够合理、故障解决方案不够合理，服务体系不够合理，培训内容可操作性及针对性不足或部分不贴合本项目需求的得2分；
方案不满足采购基本需要或未提供方案的不得分。
4．其它优惠措施（2分）。根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。
七、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金（含美国产品被加征关税）、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。
八、供应商资质要求
（一）具有独立承担民事责任的能力；
（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
（六）本项目不接受联合体报价。
九、磋商响应文件的组成
（一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部分表格样式见附件1），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册：
1. 目录（磋商响应资料与页码对照表，原件）。
2. 磋商响应函（原件）。
3. 响应基本情况一览表（原件）。
4. 详细配置清单（原件）。
5. 技术规格偏离表（原件）。
6. 公司简介（包括公司资质、公司业绩、公司荣誉等，原件）。
7. 资格证明材料
（1）营业执照、税务登记证以及组织机构代码证（复印件）。
（2）法定代表人授权书（原件）。
（3）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）。
（4）法人授权代表身份证明材料（如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）。
（5）供应商最新的年度审计报告或财务报告（复印件）。
（6）仪器设备生产或经营企业许可证（复印件，特殊行业必须提供）。
（7）仪器设备销售代理授权证明（进口货物非生产制造厂商投标的，须按第2.2条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。
（8）有关质量认证中心出具的质量体系认证证书（例如：ISO、FDA、CE、3C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。
（9）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。
8. 服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。
9. 供应商认为应该提供的其他材料。
（二）特别说明
1. “磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章。
2. 正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；
3. 相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。
十、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。
十一、磋商文件价格：人民币500元（相关缴纳事宜详见附件），售后不退。
十二、供应商在报名前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2026年10月 30日12：00前将报名函（格式见附件）发送邮件至采购人处（dingy@suda.edu.cn）。
十三、递交磋商响应文件相关事宜：
（一）顺丰快递（建议优先采用）
1. 寄达时间：2026年11月3日14：00前；
2. 收件人信息：
收件人：丁老师
联系方式：13862165427
收件地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室
（二）现场递交
1. 现场递交时间：2026年11月3日13：30～14：00
2. 现场递交地点：江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东大门
十四、递交磋商文件截止时间：2026年11月3日14：00。
十五、磋商时间：2026年11月3日14：00。
